| 专利名称: | 一种制作异质结双极型晶体管的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200710178322.5 |
| 申请日期: | 2007-11-28 |
| 专利号: | CN101447428 |
| 第一发明人: | 于进勇 刘新宇 金 智 程 伟 夏 洋 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明公开了一种制作异质结双极型晶体管(HBT)的方法，包 括：在清洗后的制作了部分或全部三台面HBT的圆片A的一面上涂覆 粘附剂，利用粘附工艺将圆片A粘附到圆片B上；去掉圆片A的衬底， 留下HBT和需要的半导体材料层；制作HBT集电极和金属互联。利 用本发明，减小了HBT集电极的寄生电容，提高了器件性能，同时避 免了类似工艺过程中对器件的损伤。 |
| 其它备注: | |
科研产出