| 专利名称: | 一种制备ZnO纳米线场效应管Al2O3栅氧的方法 |
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| 申请号: | 200810103225.4 |
| 申请日期: | 2008-04-02 |
| 专利号: | CN101552208 |
| 第一发明人: | 黎 明 张海英 付晓君 徐静波 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种制备ZnO纳米线场效应管Al2O3栅氧的方法， 该方法包括：采用栅氧光刻版，并在P型硅衬底上涂胶；阳版光刻显 影反转后，溅射Al2O3；采用liff-off的方法进行丙酮剥离，实现Al2O3 栅氧的制备。本发明提出的这种制备ZnO纳米线场效应管Al2O3栅氧 的方法，解决了ZnO纳米线场效应晶体管制备过程中栅氧的制备问题， 简化了制作工艺，降低了制作成本。 |
| 其它备注: | |
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