| 专利名称: | 一种声表面波换能器的制作方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200910301697.5 |
| 申请日期: | 2009-04-21 |
| 专利号: | CN101599749 |
| 第一发明人: | 李冬梅 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利证书号: | |
| 专利摘要: | 本发明公开了一种声表面波换能器的制作方法，属于传感器制作领域。该方法首先在压 电基体上依次沉积钛、铝钼合金、钛、铝钼合金四层薄膜，然后涂覆光刻胶并曝光成表面声 波换能器图形，采用氯气和氯化硼的混合气体刻蚀掉光刻胶未掩盖的非图形区域，最后去除 光刻胶得到声表面波传感器换能器图形。本发明中的四层膜能抑制铝原子迁移，提高薄膜的 附着力和功率承受力。在改善铝膜性能的同时，提高反应离子刻蚀图形的精确度，从而提高 换能器性能的同时，提高器件的使用寿命。 |
| 其它备注: | |
科研产出