| 专利名称: | 用于检测等离子体浸没注入剂量的法拉第杯 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200910304720.6 |
| 申请日期: | 2009-07-23 |
| 专利号: | CN101615578 |
| 第一发明人: | 汪明刚 刘 杰 夏 洋 李超波 陈 瑶 赵丽莉 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种用于检测等离子体浸没注入剂量的法拉第杯，属于半导体技术领域。 所述法拉第杯包括杯身、杯底和杯口，杯身相对于杯底的至少一个倾角小于90度；倾角 α＝arctan(H/M)，其中，H为法拉第杯杯身的高度，M为杯底最外侧到距离其最近的杯口 边缘的水平距离。本发明能够有效地抑制二次电子逸出法拉第杯杯口，提高了等离子体浸没 注入剂量检测的精确度。 |
| 其它备注: | |
科研产出