| 专利名称: | 一种制作顶栅氧化锌纳米线场效应晶体管的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200810224905.1 |
| 申请日期: | 2008-10-24 |
| 专利号: | CN101728271A |
| 第一发明人: | 徐静波 黎明 付晓君 张海英 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种制作顶栅氧化锌纳米线场效应晶体管的方法，该方法包括：在衬底表面制作定位标记；将氧化锌纳米线转移和淀积至衬底表面；对氧化锌纳米线进行定位；制作源漏电极；制作栅氧介质；制作顶栅电极，形成顶栅氧化锌纳米线场效应晶体管。本发明利用ZnO纳米线材料，经过上述工艺流程，实现了顶栅ZnO纳米线场效应晶体管的制作。 |
| 其它备注: | |
科研产出