| 专利名称: | 一种制作背栅氧化锌纳米线场效应晶体管的方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200810224906.6 |
| 申请日期: | 2008-10-24 |
| 专利号: | CN101728272A |
| 第一发明人: | 徐静波 黎明 付晓君 张海英 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明公开了一种制作背栅氧化锌纳米线场效应晶体管的方法，包括：选择衬底，在衬底的正面沉积栅氧介质；在衬底的背面蒸发金属，形成背栅电极；在衬底正面沉积的栅氧介质上制作定位标记；将氧化锌纳米线转移和淀积至已完成定位标记制作的衬底的正面；定位氧化锌纳米线；制作源漏电极，形成背栅氧化锌纳米线场效应晶体管。本发明利用ZnO纳米线材料，经过上述工艺流程，实现了背栅ZnO纳米线场效应晶体管的制作。 |
| 其它备注: | |
科研产出