| 专利名称: | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/钛/铂/金的欧姆接触系统 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200410058033.8 |
| 申请日期: | 2004-08-09 |
| 专利号: | CN1734728 |
| 第一发明人: | 魏 珂 和致经 刘新宇 刘 健 吴德馨 |
| 其它发明人: | |
| 国外申请日期: | |
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| 专利授权日期: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件的新型欧姆接触Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au的欧姆接触系统。新型结构的欧姆接触 Al/Ti/Al/Ti/Pt/Au，欧姆接触系统在680℃-760℃范围内，20-60S范围获 得理想的一致的欧姆接触。合金温度、合金时间有较大的的选择范围，降 低了工艺难度，提高了工艺的重复性。获得到比较理想的合金形貌，降低 了器件研制对设备的要求。这些技术方面的优势是现有其它欧姆接触技术 所不具备的。 |
| 其它备注: | |
科研产出