| 专利名称: | 适用于氮化镓器件的铝/钛/铝/铂/金欧姆接触系统 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200410058034.2 |
| 申请日期: | 2004-08-09 |
| 专利号: | CN1734729 |
| 第一发明人: | 魏 珂 和致经 刘新宇 刘 健 吴德馨 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本发明涉及半导体技术领域，特别是一种适用于AlGaN/GaN HEMT器 件Al/Ti/Al/Pt/Au新型欧姆接触合金系统。提出一种新型结构的欧姆接触 Al/Ti/Al/Pt/Au。该合金欧姆接触系统在660-760度范围内，合金时间在20 -60秒范围内获得理想的一致的欧姆接触。并得到比较理想的合金形貌， 该发明的合金温度、合金时间有较大的选择范围，降低了工艺难度，扩大 了工艺宽容度，提高了工艺的重复性。这些优势是现有其它欧姆接触技术 所不具备的。 |
| 其它备注: | |
科研产出