专利名称: 微尖端线列器件
专利类别:
申请号: 200510011987.8
申请日期: 2005-06-23
专利号: CN1885438
第一发明人: 焦斌斌 陈大鹏 欧 毅 叶甜春
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 微尖端线列器件,由单晶硅材料的夹持端、附着有铬和金的氮化硅
悬臂梁、镍金属的微尖端构成。本发明的微尖端线列器件,各微尖端可
其它备注: