专利名称: 基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法
专利类别:
申请号: 200510012239.1
申请日期: 2005-07-21
专利号: CN1900669
第一发明人: 石莎莉 陈大鹏 欧 毅 叶甜春
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 基于新牺牲层工艺的热剪切应力传感器器件的制作方法,涉及微电
其它备注: