| 专利名称: | 光-机械式双层结构非制冷红外成像焦平面阵列 |
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| 申请号: | 200510012264.X |
| 申请日期: | 2005-07-28 |
| 专利号: | CN1904568 |
| 第一发明人: | 李超波 焦斌斌 陈大鹏 叶甜春 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 一种用于获取并转换红外信号的光-机械式双层结构非制冷红外成像 焦平面阵列，包括按阵列分布的微悬臂梁单元，微悬臂梁单元中包含热 变形结构和红外吸收板，热变形结构为两组且对称连接于红外吸收板的 两侧。整个微悬臂梁单元为侧向支撑的无衬底双层结构，热变形结构由 热隔离梁和变形梁构成上下层回折式分布，红外吸收板与热变形结构连 接，热变形结构与支撑梁连接，每组热变形结构由至少一根热隔离梁和 至少一根变形梁组成，所述的微悬臂梁单元采用顺序平铺的方式构成阵 列。 |
| 其它备注: | |
科研产出