| 专利名称: | 一种硅基有机发光微显示金属阳极及阴极隔离柱的制备方法 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200510123888.9 |
| 申请日期: | 2005-11-24 |
| 专利号: | CN1972545 |
| 第一发明人: | 欧 毅 李大勇 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 一种硅基有机发光微显示(OLED)金属阳极及阴极隔离柱的制备方 法，属于微电子器件制备技术领域，其工艺步骤如下：1.在硅基片表 面上光刻出金属阳极图形；2.在光刻出图形的硅片表面用电子束蒸发出 铬/银薄膜；3.超声剥离；4.反转光刻阴极隔离柱图形，完成制作。OLED 具有可实现柔软显示、色彩鲜艳、响应速度快、抗低温及工艺简单等优 点，可广泛应用于视频显示领域。本发明方法具有成本低和工艺简单的 优点。 |
| 其它备注: | |
科研产出