| 专利名称: | 用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置 |
| 专利类别: | |
| 申请号: | 200920107674.6 |
| 申请日期: | 2009-05-06 |
| 专利号: | CN201427858 |
| 第一发明人: | 景玉鹏 惠瑜 高超群 |
| 其它发明人: | |
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| 专利摘要: | 本实用新型公开了一种用于牺牲层释放的二氧化碳固态升华装置，该 装置至少包括过滤器(1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、 主工作腔室(5)、温度压力控制装置(7)和分离器(10)，其中，过滤器 (1)、暂存罐(2)、恒流恒压泵(3)、流量计(4)、主工作腔室(5)和 分离器(10)依次连接，温度压力控制装置(7)连接于主工作腔室(5)， 分离器(10)连接于过滤器(1)，分离器(10)与过滤器(1)构成循环 回路。利用本实用新型，有效地解决了牺牲层释放工艺中的粘连效应。同 时，二氧化碳在相态转换时压力可调，消除了有机置换液凝固时的涨裂现 象。二氧化碳的使用更加绿色环保，无有机污染，节约资源。 |
| 其它备注: | |
科研产出