专利名称: 常压低温冷等离子体放电通道装置
专利类别:
申请号: 200420004987.6
申请日期: 2004-03-18
专利号: CN2746712
第一发明人: 王守国
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况:
专利证书号:
专利摘要: 本实用新型公开一种常压低温冷等离子体放电通道装置,包括高压
电源,供气源,和长方体形状的放电通道主体,其包括位于顶面且在中部
设置有通孔的第一电极,位于底面与第一电极平行相对的第二电极,其内
表面上设置有绝缘材料层;及两个长条形绝缘体,它们与两个电极一起围
成一个横截面为长方形的直放电通道,通孔与放电通道相连通,第一电极
位于放电通道内的下表面沿放电通道纵向的截面为锯齿状,一个电极与高
压电源相连而另一个接地,供气源通过导管与通孔相连,放电通道内的放
电是在常压下进行的。本实用新型能在大气压下产生稳定放电的冷等离子
体,进而对穿过放电通道的物体进行表面改性、表面清洗、表面消毒和薄
膜沉积等。
其它备注: