专利名称: 功率半导体器件热阻测试装置
专利类别: 实用新型
申请号: 201320379046.X
申请日期: 2013-06-28
专利号: 201320379046.X
第一发明人: 温景超
其它发明人: 温景超;王立新;陆江
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201320379046.X
专利摘要:
其它备注: 中国科学院微电子研究所