专利名称: 高性能MEMS热电堆红外探测器结构及其制备方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201310067012.1
申请日期: 2013-03-01
专利号: 201310067012.1
第一发明人: 毛海央;欧文;吴文刚;欧毅
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实施情况: 授权
专利证书号:
专利摘要:
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