专利名称: 多栅器件的形成方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201110182423.6
申请日期: 2011-06-30
专利号: 201110182423.6
第一发明人: 殷华湘;徐秋霞;陈大鹏
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201110182423.6
专利摘要:
其它备注: 十室