专利名称: FinFET及其制造方法
专利类别: 发明专利
申请号: 201510612319.4
申请日期: 2012-11-30
专利号: 201510612319.4
第一发明人: 朱慧珑;许淼;梁擎擎;尹海洲
其它发明人:
国外申请日期:
国外申请方式:
专利授权日期:
缴费情况:
实施情况: 授权
专利证书号: 201510612319.4
专利摘要:
其它备注: 先导中心