| 专著名称: | 中国材料工程大典 第11、12、13卷 信息功能材料工程（上） 第三篇 集成电路制造技术 |
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| 主编单位: | 化学工业出版社 |
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| 主编: | 吴德馨、刘明 |
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| 总字数: | 7000万 |
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| 编辑出版单位: | 化学工业出版社 |
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| 著作简介: | 《中国材料工程大典》是关于材料制备和测试、材料成形与加工工程的大型工具书，由中国机械工程学会、中国材料研究学会组织编写，中国科学院路甬祥院长担任编委会主任，师昌绪院士等做顾问， 39位院士、1200余位专家教授共同执笔。《大典》共 26 卷，近 7000 万字，是我国当前规模最大、内容最全面的材料工程工具书。 |
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