纳米技术--中国科学院微电子研究所

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专著名称:	纳米技术
研究中心:	三室一组
首席研究员:
主编单位:
出版时间:	2010-05-10
出版社:
主编:
编写人员:	刘明
总字数:
编者字数:
著作性质:	微纳加工
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