学习园地--集成电路先导工艺研发中心

当前位置 >> 首页 >> 学习园地

业内热点

科普知识

资料下载

合肥研究院提出静电场离子漏斗聚焦新技术更多>>

近日，中国科学院合肥物质科学研究院健康与医学技术研究所医用光谱质谱研究团队提出了一种静电场离子漏斗聚焦新技术，可在静电场下实现对离子的高效聚焦引导，进而提升质谱类仪器的灵敏度。针对大气挥发性有机物（ VOCs ）车载监测需求，如何在减小体积和功率的情况下保证较高的灵敏度是车载小型化PTR-MS发展的难题。为解决上述问题，该团队提出了一种静电场离子漏斗聚焦新技术，将传统的圆环状电极改进为球面加网电极，并通过孔径逐渐缩小的漏斗状组合设计，实现静电场下离子的高效聚焦引导。期刊封面：静电场离子漏斗聚焦技术示意图。详细 >>
苏州纳米所利用层状化结构工程策略构筑高导电碳纳米管气凝胶薄膜更多>>

气凝胶是一种具有三维多孔结构的超轻固体纳米材料。气凝胶薄膜具有气凝胶的多孔特性、薄膜的维度特性，在电池、超级电容器等领域颇具应用价值。目前，研究多聚焦在气凝胶薄膜的构筑单元选择上，尚无有效的方法实现气凝胶薄膜纳米构筑单元微观结构的设计。近日，中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所张学同团队提出了纳米纤维三维网络结构层状化工程策略，实现了碳纳米管气凝胶薄膜的高效导电网络构筑，制备出了一种具有致密层状多孔结构的高导电碳纳米管气凝胶薄膜。碳纳米管气凝胶薄膜的焦耳热性能。详细 >>
晶圆级范德华接触阵列研究获进展更多>>

基于新结构和新原理的二维半导体器件展现出广泛的应用前景，有望解决硅基器件在极限尺寸下面临的问题。然而，二维材料原子级厚度使其在半导体先进制程中显得过分脆弱。特别在金属电极生长工艺中，溅射离子轰击、残留化学污染、较高工艺温度等因素均易对二维材料造成损伤或无意掺杂，形成非理想金属/二维半导体界面，使二维半导体器件实际性能与预期性能存在差异。因此，针对高性能二维半导体器件研制，亟需发展一种具有普适性的电极制作工艺，能够实现任意金属与二维材料的高质量欧姆或肖特基接触。上海微系统所狄增峰研究团队与合作者，报道了一种石墨烯辅... 详细 >>
石墨烯辅助电极转印“三步走”更多>>

尽管芯片制程已经一步步逼近物理极限，人们对集成电路性能和尺寸的要求却丝毫没有降低。该技术以锗基石墨烯晶圆作为预沉积衬底“生长”金属电极阵列，并利用石墨烯与金属间较弱的范德华作用力（一种分子间作用力），实现了任意金属电极阵列的“撕下来”和“贴上去” — —无损转移，且转移成功率达到100% 。为解决这一问题，狄增峰团队和中国科学院上海技术物理研究所研究员胡伟达团队合作，另辟蹊径地让金属电极先在其他地方“生长” ， “长”成后再把电极“像胶带一样‘贴’ （转印）到二维沟道材料上” 。石墨烯辅助金属电极转印技术削弱了基底与金属... 详细 >>
苏州纳米所等发展出用于可穿戴电子器件的热传导增强型柔性水伏发电机更多>>

近年来，利用蒸发驱动水流经过功能化纳米通道，在固-液界面相互作用下，将环境热能转化为电能的水伏效应是新兴的绿色环境能源捕获技术。由于蒸发的自发性和地理环境约束小等特性，水伏发电机可以实现长时间、持续的产能，在用于自驱动传感、可穿戴电子器件能源供给等方面具有广阔的应用前景。目前，水伏发电器件研究多聚焦于通过纳米结构设计或表面功能化处理来提升产电性能，而环境中缓慢的水分子蒸发速度（驱动力小）是限制水伏器件产电效率的瓶颈。热传导增强型柔性水伏发电机用于可穿戴传感器件能源供给。详细 >>
广州能源所等关于有序多孔高效铂（Pt）基燃料电池催化剂的研究获进展更多>>

氢能燃料电池（ PEMFC ）具有绿色低碳的优点，是应对未来气候变化、能源需求剧增等挑战的重要手段之一。作为PEMFC阴极反应的关键过程，氧还原反应（ ORR ）的效率决定电池的性能、寿命与成本，而铂（ Pt ）基催化剂是燃料电池中促进这一反应的常用催化剂。目前，在商业使用的碳载铂（ Pt/C ）催化剂中， Pt活性组分多无序分布于碳载体表面，导致活性位点分布不均。在燃料电池工作过程中， Pt与载体的相互作用降低，造成Pt纳米颗粒的脱落、迁移与团聚，导致PEMFC的性能衰减。3D有序蜂窝状多孔结构负载Pt活性组分及其ORR电催化性能研究. 详细 >>