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集成电路计算光刻与设计优化实验室依托于中国科学院微电子研究所,成立于2013年7月,由千人计划专家韦亚一博士组建。实验室下设如下主要方向:集成电路计算光刻方向、设计与工艺协同优化方向、先进光刻工艺。实验室在2016年8月开通了“光刻人的世界”公众号,旨在分享光刻领域(包括光刻、刻蚀、设计优化、测量)的动态和最新进展、以及相关的各种专业知识和实用资源,打造...