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专利布局

  中科院微电子所集成电路先导工艺研发中心共申请发明专利1475项(含国外发明专利申请389项),其中已授权932项发明专利(含国外授权发明专利333项)。这些专利涵盖了集成电路制造先进技术代的主要技术领域,例如鳍式场效应晶体管(FinFET)、高k金属栅(HKMG)、源漏工艺等。

 

  

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