| 获奖时间 | 获奖名称 | 获奖类别 | 完成人(主要参加者) |
|---|---|---|---|
| 2008年12月 | 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 | 北京市科学技术奖一等奖 | 赵晋荣、张伯旭、耿锦启、张建勇、李东三、王宝全、李 兵、孙 岩、张秀川、刘利坚、赵梦欣、南建辉、夏 威、白志民、徐 华 |
| 2009年12月23日 | 100nm高密度等离子刻蚀机研发与产业化 | 国家科学技术进步二等奖 | |
| 2011年3月28日 | 首都科技条件平台中科院研发实验服务基地 | 首都科技条件平台中科院研发试验服务基地先进集体二等奖 | |
| 2011年11月28日 | 微纳结构“自上而下”制备核心技术与集成应用 | 北京市科学技术奖一等奖 | 刘 明、谢常青、陈宝钦、卞福良、龙世兵、田 炜、商立伟、朱效立、姬濯宇、沈俊然、王 琴、李 友、叶甜春、段小楠、徐 佳 |
| 2008年 | 90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 | 2008年国家科技进步二等奖 | 徐秋霞 |
| 2007年 | 90-65纳米极大规模集成电路大生产关键技术研究 | 2007年教育部科学技术一等奖 | 徐秋霞、叶甜春 |
| 2007年 | 中高频声表面波关键材料及技术研究 | 2007年国家技术发明二等奖 | 刘明 |
| 2005年 | 高性能栅长27纳米 CMOS器件及关键工艺技术研究 | 2005年北京市科学技术一等奖 | 徐秋霞 钱 鹤 韩郑生 刘 明 陈宝钦 叶甜春 夏 洋 赵玉印 侯瑞兵 李俊峰 周小茵 高文方 |
| 2005年 | High Performance 70nm CMOS Devices | 2005年中国科协期刊第一届优秀论文奖 | 徐秋霞 钱鹤 殷华湘 贾林 季红浩 陈宝钦 朱亚江 刘明 |
| 2005年 | 亚30纳米CMOS器件相关的若干关键工艺技术研究 | 2005年国家技术发明二等奖 | 徐秋霞 钱鹤 韩郑生 刘明 陈宝钦 叶甜春 |
| 2005年 | High Performance 70nm CMOS Devices | 2005年中国科协期刊第一届优秀论文奖 | 徐秋霞 钱鹤 殷华湘 贾林 季红浩 陈宝钦 朱亚江 刘明 |
| 2004年 | 先进的深亚微米工艺技术及新型器件 | 2004年北京市科学技术一等奖 | 吴德馨 刘训春 叶甜春 谢常青 陈大鹏 郑英奎 魏 珂 李 兵 汪锁发 刘 明 曹振亚 陈宝钦 刘晓伟 胥兴才 赵知夷 |
| 2002年 | 0.18/0.1微米CMOS集成电路关键技术 | 2002年北京市科学技术二等奖 | 钱 鹤 徐秋霞 刘 明 朱亚江 海潮和 陈宝钦 韩郑生 陈焕章 李俊峰 |
| 2001年 | 0.18 / 0.1微米CMOS集成电路关键技术 | 2001年科学技术部“九五”攻关优秀成果奖 | 微电子中心 |
| 2001年 | 亚微米、深亚微米CMOS电路用薄层外延硅材料 | 2001年科学技术部“九五”攻关优秀成果奖 | 微电子中心 |
科研工作